压阻式传感器仍然是基于半导体材料的压阻效应，Celtron称重传感器在半导体材料(一般为N 型硅单晶)称重传感器基片上选择一定的晶向位置，利用集成电路工艺制成扩散电阻，作为测 量传感元件，基片直接作为测量敏感元件(甚至有的可包括某些信号调节电路)，亦称为扩散型压阻式传感器或固态压阻式传感器。扩散电阻在基片上组成测量电 桥，当基片受应力作用产生变形时，各扩散电阻臂阻值发生变化，电桥产生相应的 不平衡输出。

　　压阻式Celtron称重传感器主要用于测量压力和加速度。

　　1、压阻式压力传感器

　　压阻式压力传感器的结构其核心部件是一圆形的N型硅 膜片，Celtron LPS-1kg 单点式称重传感器在膜片上扩散四个阻值相等的P型电阻，构成平衡电桥。Celtron称重传感器四个电阻的配置 位置按膜片上径向应力和切向应力的分布情况确定。硅膜片周边 用硅环固定，其下部是与被测系统相连的高压腔，上部为低压腔，通常与大气相通。在被测压力P作用下，膜片产生应力和应变，扩散电阻由于压阻 效应其电阻值发生相对变化。

　　压阻式压力传感器的应变片，其工作温度可提高至300℃左右，包括压敏电桥、温度补偿电路、差分放 大及感温元件在内的集成式压力传感器早已问世。石油天然气开发中的PPS系 列井下电子压力计，采用硅一蓝宝石传感器，工作温度可达近200℃，且具有温度测 量、数据采集和存储功能的应变片，Celtron MBB-75kg 双剪切梁式称重传感器其工作温度可提高至300℃左右，包括压敏电桥、温度补偿电路、差分放 大及感温元件在内的集成式压力传感器早已问世。石油天然气开发中的PPS系 列井下电子压力计，采用硅一蓝宝石传感器，工作温度可达近200℃，且具有温度测 量、数据采集和存储功能。

　　2、压阻式加速度传感器

　　压阻式加速度传感器的结构简图，它直接用单晶硅作为悬臂梁3，梁的根部扩散四个电阻1构成测量电桥，自由端装有惯性质量13，就构成了微小的整体型加速度传感器。在结构上玻璃一硅片一玻璃三层结构。中间一层是该传感器的核心部件，它是一片很薄的硅片悬臂梁，Celtron LOC-250kg 单点式称重传感器四周由厚的(约200脚)凸缘边框围绕着，边框刚性地支承着悬臂。上、下两片玻璃的安装面平行于梁表面，每片上都蚀刻出凹坑，以构成梁和惯性质量运动所需的空间。惯性质量可以是高密度的物质如金等，也可以是硅梁本身。

　　当Celtron称重传感器受到图示方向加速度a时，质量块m的惯性力作用在梁上，产生弯 矩和应力，四个扩散电阻的阻值发生变化。应力与加速度成正比，所以电阻相对变化与加速度成正比。将这四只电阻接成差动电桥，即可测出加速度a。为保证输出线性度，悬臂梁根部的应变不要超过400一500阵。